该厂为89英寸晶圆生孩子线配套设施的超注射用水系统，每天晚上带来含硅生活污水150吨。生活污水内虽无天价属，但硅水分含量高易水垢，且电阻器率需到达18MΩ·cm方可造纸废水加工。本身加工的工艺不可能充分考虑新修订的《光学化学工业水严重污物排放物物标准规范》（GB39731-2020）格外排放物物卫生防护距离。 废渣部分特殊性 主要的危害物 ：悬浊液硅（200-300mg/L）、科粒硅（孔径0.1-1μm） 特定追求 ：TOC<10μg/L，硼含氧量<5μg/L 土质功能 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅有机化合物姿态冗杂 治理 技术操作流程 全新应用"梯级膜脱离+电去亚铁离子"三人组合方法： 微滤预治疗 ：1μm瓷质膜拦住大粒状硅，通量稳定80LMH 铝离子相互交换聚酯树脂 ：D201大孔树酯考虑性溶解硅酸碳原子 一级RO程序 ：首要段出售率60%，第二点段通过高脱硼膜构件 EDI电去阴离子 ：工作电流密度计算2A/m²，不间断剔除残留阳离子 红外光谱灭菌 ：254nmUV太阳辐射线使用量40mJ/cm² 新技术亮点纷呈 激发多功能阻硅剂（无机胺类软型物），减慢膜空气污染寿命3倍 EDI引擎信息化流道设计制作，硅出掉率增加至99.8% 在线上硅解析仪（测量方法使用范围0.1-500μg/L）做到精准性的把控好 作业预期效果 经几方面查重： 总硅从280mg/L低于0.05mg/L 硼量从8μg/L降落到0.3μg/L 系统再利用率从原40%升级至68% 膜调换频次延长了至5年，年运作生产成本降35%