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研磨液废水怎么处理|研磨液废水如何处理

的项目的背景 某中型光电器件生孩子的企业公司处于长半圆东北部,包括生孩子晶圆和集成电路芯片。在生孩子环节中,晶圆裁割和抛光净化处理时间段诞生海量磨细液废水净化处理,每日污染源物口量约50吨。犹豫废水净化处理中内含高氨水浓度悬停物、金屬铁离子及充分“增白剂,同时污染源物口会对条件形成频发污染源,的企业公司继续购买专用汽车开发正规专业净化处理设备。 电镀废水部分及种类 粉磨液污水重点来源地于晶圆处理中的化工机械化拋光(CMP)加工过程,重点影响物有: 飘浮粒状物 :二空气氧化的硅、空气氧化的铝等研磨抛光顆粒,比表面积在0.1-1μm,浓度值达到2000mg/L。 重金属阴阳离子 :铜、铁、锌等,原于cnc精密机械加工垫磨花及晶圆界面合金层,铜亚铁离子质量浓度约50mg/L。 巧妙添加图片剂 :也包括外观可溶性剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。 酸是碱性的性物资 :pH值下跌大,普通在2-11范围内。 外理新工艺步奏 采取废液性能特点,通过“预设治疗+生物化学+进一步治疗”乐队组合生产技术: 上下调整池 :教育均衡发展水源排水量,放入耐酸碱调试pH至一般的中性。 沥青混凝土沉淀物中 :污泥脱水PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),洗去自动隐藏物和固体,沉降后SS洗去率>90%。 崔化氧化物 :采用了Fenton实验试剂(H₂O₂+Fe²⁺)吸附有机酸放入剂,COD的还原率达60%。 动物进行处理 :MBR膜生物体生理催化反应器进一个步骤可降解累计有机酸物,COD降低100mg/L下面的。 正离子互换 :专门不饱和树脂吸收铜正离子,留水铜成分<0.5mg/L。 砂滤+抗逆性炭脱水 :为了保证留水清辙,达成《污水处理融合的排放细则》(GB8978-1996)特一级细则。 最中感觉 软件电脑运行不稳后: SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴阳离子<0.3mg/L。 工业废液处理率达40%,乘余不合格的排出,年少废液的排出1.6万吨。 加工处理人工成本约15元/吨,远高出服务业平均值。

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